百级电子车间净化的组成部分

        1.隔间净化车间隔间分为三个部分：更衣室、千级区和百级区、更衣室和千级区、千级区和百级区。净化车间和室外设有物品通道传输窗口。当人员进入净化车间时，应先通过空气淋浴房，将人体带来的灰尘吹走，减少人员带入净化车间的灰尘，传输窗口是吹扫物体的灰尘，达到落尘的效果。

        2.风系风系统流程图系统采用全新风空调箱+FFU系统:全新风空调箱结构，即风机和过滤器。HEPA用于千级区过滤器，过滤效率为99.997%。

        3.100级电子车间净化的水系统水系统流程图冰水系统分为一次侧和二次侧，一次侧冰水水温7-12度，供应空调箱和风机盘管，二次侧冰水供应干盘管系统12-17度。一次侧冰水和二次冰水是由板式热交换器连接的两种不同的电路。

        板式换热器原理：

        干盘管:不结露的盘管不能直接进入净化车间，因为净化车间的温度在22度，露点温度在12度左右，所以干盘管的冰水温度在12-14度。

        4.控制系统(DDC)温度:干盘管系统控制湿度，空调箱通过传感信号调节空调箱盘管进水，控制三通阀开度。正压:根据静压传感信号，自动调节空调箱电机变频器的频率。从而调节进入房间的新鲜空气量。

        5.其它系统不仅仅是空调系统，还包括真空、空气压力、氮气、纯水、废水、二氧化碳系统、工艺排气系统。