电子电器无尘车间净化工程装修-海博尔净化工程

电子电器无尘车间净化工程装修-电子洁净厂房设计标准

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电子电器无尘车间净化工程适用场所：电子厂，半导体厂，光电产业，机电房.恒温恒室实验室，百级无尘车间洁净厂房等。

1、电子电器无尘车间净化路线：

电子电器无尘车间为了在操作中尽量减少人活动产生的污染，人员在进入洁净区之前，必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。这些措施即“人身净化”简称“人净”。

人净用房中更换洁净服的房间应予送风，并对入口侧等其他房间保持正压，对厕所、淋浴保持少许正压，而厕所、淋浴应保持负压。

2、电子电器无尘车间物料净化路线：

各种物件在送入洁净区前必须经过净化处理，简称“物净”。物料净化路线与人净路线应分开，如果物料与人员只能在同一处进入洁净室，也必须分门而入，物料并先经过粗净化处理。电子制造洁净车间气流→初效过滤器净化→空调→中效过滤器净化→风机送风→管道→净化高效送风风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效过滤器净化 重复以上过程，即可达到净化目的。

电子制造洁净车间节能原则：电子制造洁净车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。电子制造洁净车间之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。那种“小处节约大处浪费”的所谓捷径和削减成本，会造成电子制造洁净车间的运行性能降低和能耗增加。

一、电子电器无尘车间主体工程:

1、地面：

A、主厂房：承载力>=2吨/平方米，有防水层，面层要求水磨石，设备房地面承载力要求>2吨/平方米，面层为水泥浆原浆找平;

B、库房：一楼地面要求承载力>=3吨/平方米，二楼地面承载力>500 kg/㎡，面层均要求水磨石，水磨石表面平整，接缝平直，缝浆饱满，纵横方向无明显错台错位，地面找平处理后,局部的平整度误差不得高于2mm/2M2;

C、氢气站、硅烷站地面承载力>2吨/平方米,面层为水泥浆原浆找平;

2、高度：要求厂房最低净高6000mm;仓库层高5000mm;

3、跨度：横向8000m，纵向7～8m(见详设备布局图)，设备房宽度要求9000m;

4、屋面荷载：空调机房顶屋面要求>500kg/㎡，尾气处理位置>500 kg/㎡(本荷载没有考虑风载、雪载等，若有屋顶发电站则要考虑电站的基本参数);

5、装修：设备房、库房、非洁净区域、氢气站、硅烷站要求中级抹灰粉刷，洁净区域要求水泥砂浆粉刷，卫生间按中等标准装修;

6、门、窗：

A、 门：进/出货门为5000×5000MM卷帘门，向外开的卫生间门为850mm×3000mm，设备房外墙门为3500×3000mm，安全逃生门为1200mm×3000mm，其他外墙门为4000mm×3000mm;

B、窗：厂房窗为高窗，窗台高度为4000mm，每跨有一扇可推拉;库房窗一楼为高窗，窗台高度为4000mm,每跨有一扇可推拉，二楼以上按标准厂房设计;

C、泵房窗：泵房窗为固定磨砂玻璃隔热保温窗，每跨有一扇可推拉，长方向要设计对流排气风机且要考虑冬季保温;

D、天窗设置要符合设备布置要求;

E、参观窗(楼梯)设置要符合二次装修及参观通道设计要求;

7、卫生间：卫生间布局要按照甲方统一图纸规划;

8、氢气站、硅烷站、氮气站、特气房的设计均要按照相关规范及甲方设备布局要求进行设计;

9、消防工程：主厂房消防设计要根据二次装修需求和布局进行统一设计，灭火器要求用手推式二氧化碳灭火器;设备房、特气房、气站及库房可按照相关消防规范、标准进行设计，特气站、特气房的防雷、避雷和防静电要符合要求，主厂房内部防火墙的设计应按照装修布局给予考虑;

10、照明：库房、设备间、卫生间的照明按相关规范进行设计，主厂房内部照明不需设计;

11、电梯与卸货平台：库房电梯要求B1800mm×L3000mm,电梯开门宽度最少1800mm，载重>3吨;卸货平台要按照要求设置;

12、设备配套设施：

A、设备接地布置要按照设备布置图进行设计;

B、设备排水(管/沟)及循环水设施要按照工艺及设备布置要求进行设计;

C、地面铺设钢板位置要按照设备布置要求进行设计;

D、循环水池和循环水的设计要按照工艺要求进行设计;

E、设备房及屋顶设备的设备基础要按照设备基础设计要求进行设计;

F、自来水用量要求：80T/H，各进水口具体位置要满足工艺要求，且每处进水口均应配备闸阀和水表;电用量要求：10000KVA;

G、供热：设备房、库房、卫生间按当地供热标准进行设计，厂房空调房区域应预留DN300的热水管，压力为0.3MPa~0.4MPa，水温60～80℃，具体供暖在二次装修考虑;

H、车间层压机段要设计地下室(用于做真空泵，本地下室需要通风排风，防水设计);

I、厂房为丙类。

二、超净装修设计要求：

(1)、车间布局与结构

1、净化区域各房间吊顶标高：

车间净化工程中正常区域的标高为2.8m，PECVD区域为特殊区域，其标高为3m。彩钢板防火墙设置要符合消防规范要求，在洁净区域与非洁净区域交接处的墙体应做到屋面板底。

2、净化区域隔墙：

车间净化区域的隔墙需严格按照公司提供的图纸施工，对特殊区域有要求按先后顺序施工的必须按公司要求进行施工。

3、地坪指标要求：

3.1、车间地坪需要做平整，在一平方米区域内伏不超过1mm，以便设备安装找平;

3.2、车间地坪不会脱层、不起灰尘及耐磨，不起泡，气泡允许每平方米1个，且要小于直径2mm。

3.3、地面要求：超净间地面要求用环氧树脂自流平，组件段采用环氧薄涂，气体房(含氢气、硅烷及特气间)也用薄涂。

4、车间钢质钢板门和窗的尺寸：

4.1、单扇门的尺寸为1000*2100mm;

4.2、双开门的尺寸为2200*2700mm;

4.3、安全逃生门的尺寸为1200*2100mm;

4.4 防火墙防火门尺寸为2400*2800mm;

4.5、活动墙的尺寸为4000*2700mm(施工中可分成两扇2000*2700mm);

4.6、PECVD后的观察窗的尺寸为300*150mm，办公室、冷却间门上的观察窗为尺寸为350*500mm;

4.7、层压机、白玻璃清洗机、一次清洗机观察窗的尺寸为：1150*400mm;

海博尔净化公司是空气洁净技术行业协会会长单位，空气洁净技术专家委员会主任委员单位，拥有多项国家技术专利，海博尔技术总监周海洋表示，要为中国芯奉献爱芯，愿意为国内电子芯片制造企业提供无偿设计咨询服务，为中国芯发展尽一点绵薄之力！欢迎来电，或访问 电子厂净化工程